什么是电子背散射衍射(EBSD)?
EBSD揭示的关键信息
1. 物相鉴定:EBSD能够对每个分析点进行物相的识别和确认,这一过程基于晶体学的差异,并可结合化学信息(如能谱仪EDS提供的数据)。
2. 晶体取向:EBSD技术能够确定每个分析点晶格的三维取向,这对于揭示材料的微观结构和宏观性能之间的联系至关重要。检测请联系18148990106。
EBSD技术的性能指标
EBSD技术的性能受多种因素影响,包括样品制备、SEM设备、电子束参数、EBSD探测器和软件,以及样品本身的特性。
以下是EBSD技术的一些性能指标:
空间分辨率:25-200 nm(常规块样EBSD),2-20 nm(TKD)。
角度精度:0.1-0.5°(基于霍夫变换的标定),0.001-0.01°(高分辨EBSD)。
角度准确度:约2°。
分析速度:可达约4500点/秒。

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